El equipo de litografía DUV de inmersión doméstico inicia la producción en lotes pequeños; este año se planea entregar aproximadamente 5 unidades.

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Mars Finance Nachrichten, laut einem Bericht von „The Information“, unter Berufung auf informierte Quellen, hat ein nicht namentlich genanntes Unternehmen mit staatlichem Hintergrund aus Shanghai mit der Produktion heimischer immersionsbasierter DUV-Lithografiesysteme begonnen. Es plant, dieses Jahr etwa 5 Einheiten herzustellen und bis 2027 auf etwa 20 Einheiten zu steigern. Die ersten Anlagen sollen an wichtige Waferhersteller wie Semiconductor Manufacturing International Corporation (SMIC), Hua Hong Semiconductor und ChangXin Technology (CXMT) geliefert werden, jedoch müssen die Geräte noch Tests zur Genauigkeit, Stabilität und zur Linienkompatibilität durchlaufen; dieser Prozess kann mehrere Monate oder länger dauern. Derzeit stammen die meisten Komponenten des Geräts aus dem Inland, aber einige Schlüsselbauteile sind weiterhin von Japan abhängig, sodass die Leistung und die Fertigungsqualität hinter ASML zurückliegen. Zum Vergleich: ASML hat allein im Jahr 2025 bereits etwa 131 immersionsbasierte DUV-Lithografiesysteme geliefert. Obwohl die heimischen Geräte bereits den Sprung von Prototypentests zu einer Kleinserienproduktion geschafft haben, bestehen weiterhin deutliche Unterschiede, bevor ASML großflächig ersetzt werden kann. Zuvor hatte Reuters berichtet, dass die USA erwägen, die Ausfuhrbeschränkungen für Chinas Lichtlithografieausrüstung weiter zu verschärfen und die Beschränkung von Wartungsdienstleistungen in China auszuweiten; die aktuelle Lieferung der heimischen Geräte fällt genau in diesen Kontext.
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